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特点：

      Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外，可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。

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任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点：(1) 设备费用高；(2) 对颗粒物或沉积物敏感；(3) 噪音与振动；(4) 破碎问题；(5) 暴露大气易引起事故

以上信息由专业从事大阪涡轮分子泵TG203供应商的潽拓光电于2024/4/30 12:10:56发布

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